廣州迪川儀器儀表成功開發(fā)小型氣體流量計

廣州迪川儀器儀表成功開發(fā)小型氣體流量計

迪川儀器儀表：迪川儀器儀表開發(fā)出了可用于空氣、氫氣、氦氣、氣等多種氣體的小型高精度氣體流量計、混合動力和燃料電池電動車討論會暨展覽會（MEMS）”上進行了展示。燃料電池車為了提高燃料電池的功率和效率，要求對輸送給燃料電池的空氣和氫氣流量進行精細(xì)控制。此次的流量計就可在這種控制中用來測量空氣與氫氣的流量。?

所展出的氣體流量計非常小，感應(yīng)部分的外形尺寸為2×2×0.4mm。在硅晶圓上利用MEMS技術(shù)形成了齒狀加熱器，以及將不同金屬結(jié)合到一起形成壓電結(jié)果的溫度感應(yīng)。溫度感應(yīng)配置于位于中間的加熱器上下左右位置，可檢測晶圓上溫度分布的變化，推算出氣體流量。除檢測流量外，該流量計還可用于了解氣體流向，盡管目前的裝置已限定氣流只是單向。?

之所以能夠支持多種氣體，是因為它可根據(jù)氣體的種類對流量和溫度分布的關(guān)系進行。在4個溫度感應(yīng)中，上下2個感應(yīng)用于作業(yè)。從精度來說，所測量的流量很小值與很大值的比例為1：1000時精度為±5％，比例為1：100時精度為±2％。感應(yīng)部分的功耗只有數(shù)mW，可用電